カート
半導体材料ガス検知器 ＸＰ－７０３ＤＩＩＩ
●半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。
●ガス濃度の変化により、警報音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
●1台でさまざまな半導体材料ガス（アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など）に対応。
●従来品より大幅に小型・軽量化を実現。手にスッポリと収まるコンパクトボディ。
●電池残量やポンプの状態など、機器の状態がわかりやすいLCD画面を搭載。
●アラームランプを正面と底面の2ヶ所に搭載し、作業中に警報がわかりやすい。
●保護等級IP22（JIS C 0920）相当（レザーケース装着時）。
●ガス濃度の変化により、警報音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
●1台でさまざまな半導体材料ガス（アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など）に対応。
●従来品より大幅に小型・軽量化を実現。手にスッポリと収まるコンパクトボディ。
●電池残量やポンプの状態など、機器の状態がわかりやすいLCD画面を搭載。
●アラームランプを正面と底面の2ヶ所に搭載し、作業中に警報がわかりやすい。
●保護等級IP22（JIS C 0920）相当（レザーケース装着時）。
コード：3-359-0855
標準価格： ¥ 145,000 （税抜）
標準納期日数
在庫： 取寄品
商品詳細
- 検知対象ガス
- 半導体材料ガス（アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素）
- ガス採気方式
- 自動吸引式
- 探知方法
- 熱線型半導体式
- 検知可能漏洩量
- アルシン/2.53×10－7Pa・m3/s ホスフィン/1.52×10－7Pa・m3/s ジボラン/1.01×10－7Pa・m3/s シラン/2.53×10－7Pa・m3/s 水素/5.07×10－7Pa・m3/s
- 探知可能濃度
- アルシン/0.5ppm ホスフィン/0.3ppm ジボラン/0.2ppm シラン/0.5ppm 水素/1.0ppm
- 応答時間
- 10秒以内（探知可能濃度の3倍の濃度のガスに対して、感度設定）
- 表示方式
- 断続音及びアラームランプの点滅
- 電源
- 単3アルカリ乾電池×2（付属）
- 連続使用時間
- 約12時間（単3アルカリ乾電池）[常温・常湿において]
- 保護等級
- IP22相当（レザーケース装着の場合）
- 使用温度範囲
- 0～+40℃ 85%RH以下（但し、結露なきこと）
- 大きさ
- 38×130×32mm（突起物を除く）
- 重量
- 約190g（電池、レザーケース含む）
- 付属
- レザーケース ドレンフィルタ 交換用フィルタエレメント アタッチメント 点検ガス ハンドストラップ
印刷用画面