カート
マスフローコントローラ ３６６０－１／４ＳＷ－Ａｉｒ ５００ＳＣＣＭ－２０℃
●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
- ※コード番号をご指定の後、流量を併せてご連絡下さい。
- ※価格は標準製作品についてのものであり、細部仕様により価格が変わることがあります。
- ※本製品は受注生産品につき、ご注文後のキャンセルや返品はお受けできませんのでご注意下さい。
コード：3-371-0793
標準価格： ¥ 109,200 （税抜）
標準納期日数
在庫： 取寄品
商品詳細
- 流体
- Air
- 最大流量
- 500SCCM
- 継手
- 1/4SWL
- センサ方式
- 熱式巻線センサ
- バルブ方式
- 比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉）
- 制御範囲
- 2～100％（FS）
- 応答性
- 2sec以内（within±2%FS）
- 精度
- ±1.0％FS（25℃）
- 温度係数
- ±0.1%FS/℃（15～35℃）
- 再現性
- ±0.5％FS
- 耐圧
- 980kPa（G）
- リークレート
- 1×10^－8Pa・m3/s以下（He 透過含まず）
- 使用環境
- 温度：5～45℃ 湿度：10～90％RH（結露なきこと）
- 接ガス部材質
- ボディ：SUS316 SUS316L 磁性ステンレス バルブシート：FKM（オプション CR or NBR） シール材：FKM（オプション CR or NBR）
- 電気接続
- Dsub9ピンKFC Standard（SEMI Standard準拠）
- 流量出力信号
- 0～5VDC（外部負荷抵抗250kΩ以上）
- 所要電源
- ＋15VDC(±5％)100mA －15VDC(±5％)250mA
- 重量
- 約1000g
印刷用画面
同じシリーズの商品が 24 商品あります。
| 商品画像 | 商品番号 | 商品名 | 標準価格 （税抜） |
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3-371-0793 | マスフローコントローラ ３６６０－１／４ＳＷ－Ａｉｒ ５００ＳＣＣＭ－２０℃ |
標準価格 ¥109,200 |
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3-371-0806 | マスフローコントローラ ３６６０－１／４ＳＷ－Ｎ２ １ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥109,200 |
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3-371-0807 | マスフローコントローラ ３６６０－１／４ＳＷ－Ｎ２ ５ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥109,200 |
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3-371-0808 | マスフローコントローラ ３６６０－１／４ＳＷ－Ｎ２ １０ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥109,200 |
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3-371-0809 | マスフローコントローラ ３６６０－１／４ＳＷ－Ｎ２ ２０ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥109,200 |
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3-371-0810 | マスフローコントローラ ３６６５－３／８ＳＷ－Ｎ２ ３０ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥156,500 |
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3-371-0811 | マスフローコントローラ ３６６５－３／８ＳＷ－Ｎ２ ４０ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥156,500 |
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3-371-0812 | マスフローコントローラ ３６６５－３／８ＳＷ－Ｎ２ ５０ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥156,500 |
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3-371-0813 | マスフローコントローラ ３６６５－３／８ＳＷ－Ｎ２ １００ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥184,800 |
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