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表示器付マスフローコントローラ ８７５０ＭＣ－０－３／８ＳＷ Ａｉｒ－１００ＳＬＭ－２０℃
●DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
●ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
●センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
●別売のフリーケーブルで電源、流量信号（アナログ）、デジタル通信（RS485/232C）各種イベント出力が取合できます。
コード：3-371-0831
標準価格： ¥ 242,200 （税抜）
標準納期日数
在庫： 取寄品
商品詳細
- タイプ
- マスフローコントローラ（MC）
- 流体
- Air
- モデル
- 8750MC/MM
- 最大流量
- 100SLM
- 継手
- 3/8SWL
- バルブ方式
- 比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉）
- 制御範囲
- 5～100％（FS）
- 応答性
- 3sec以内（within±2％FS）
- センサ方式
- 熱式巻線センサ
- 精度
- ±1.5％FS（25℃）
- 温度係数
- ±0.2％FS/℃（15～35℃）
- 再現性
- ±0.5％FS
- 耐圧
- 1MPa（G）
- リークレート
- 1.0×10^－8Pa・m3/s以下（He透過含まず）
- 許容周囲温度
- 5～45℃
- 許容周囲湿度
- 10～90％RH（結露なきこと）
- 接ガス部材質
- SUS316/316L 磁性ステンレス FKM
- 電気接続
- Dsubハーフピッチ20ピン ヒロセ電機DX10M-20S
- 流量入力信号
- 0～5VDC（入力インピーダンス100kΩ以上）or 4～20mA選択
- 流量出力信号
- 0～5VDC（外部負荷抵抗250kΩ以上）
- 通信
- RS485
- 所要電源
- 24VDC（±10％） 300mA以下
- 大きさ
- 108×37×149mm
- 重量
- 約1500g
- 最大流量（SLM/SCCM）
- 100SLM
印刷用画面
同じシリーズの商品が 24 商品あります。
| 商品画像 | 商品番号 | 商品名 | 標準価格 （税抜） |
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3-371-0831 | 表示器付マスフローコントローラ ８７５０ＭＣ－０－３／８ＳＷ Ａｉｒ－１００ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥242,200 |
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3-371-0844 | 表示器付マスフローコントローラ ８７００ＭＣ－０－１／４ＳＷ Ｎ２－１ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥181,400 |
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3-371-0845 | 表示器付マスフローコントローラ ８７００ＭＣ－０－１／４ＳＷ Ｎ２－５ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥181,400 |
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3-371-0846 | 表示器付マスフローコントローラ ８７００ＭＣ－０－１／４ＳＷ Ｎ２－１０ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥181,400 |
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3-371-0847 | 表示器付マスフローコントローラ ８７００ＭＣ－０－１／４ＳＷ Ｎ２－２０ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥181,400 |
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3-371-0848 | 表示器付マスフローコントローラ ８７５０ＭＣ－０－３／８ＳＷ Ｎ２－３０ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥196,000 |
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3-371-0849 | 表示器付マスフローコントローラ ８７５０ＭＣ－０－３／８ＳＷ Ｎ２－４０ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥196,000 |
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3-371-0850 | 表示器付マスフローコントローラ ８７５０ＭＣ－０－３／８ＳＷ Ｎ２－５０ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥196,000 |
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3-371-0851 | 表示器付マスフローコントローラ ８７５０ＭＣ－０－３／８ＳＷ Ｎ２－１００ＳＬＭ－２０℃ |
標準価格 ¥242,200 |
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