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コフロック

マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ｎ２ ５００ＳＣＣＭ－２０℃

スタンダードモデル

  • ※代表画像です。
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カタログ情報
研究用総合科学機器カタログ No.4100
195頁

コフロック

マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ｎ２ ５００ＳＣＣＭ－２０℃

●定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
  • ※コード番号をご指定の後、流量を併せてご連絡下さい。
  • ※価格は標準製作品についてのものであり、細部仕様により価格が変わることがあります。
  • ※本製品は受注生産品につき、ご注文後のキャンセルや返品はお受けできませんのでご注意下さい。

コード：3-371-0805

標準価格： ¥ 109,200 （税抜）

標準納期日数 ： 35日

在庫： 取寄品

商品詳細
流体
N2
最大流量
500SCCM
継手
1/4SWL
センサ方式
熱式巻線センサ
バルブ方式
比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉）
制御範囲
2～100％（FS）
応答性
2sec以内（within±2%FS）
精度
±1.0％FS（25℃）
温度係数
±0.1%FS/℃（15～35℃）
再現性
±0.5％FS
耐圧
980kPa（G）
リークレート
1×10^－8Pa・m3/s以下（He 透過含まず）
使用環境
温度：5～45℃　湿度：10～90％RH（結露なきこと）
接ガス部材質
ボディ：SUS316　SUS316L　磁性ステンレス　バルブシート：FKM（オプション CR or NBR）　シール材：FKM（オプション CR or NBR）
電気接続
Dsub9ピンKFC　Standard（SEMI Standard準拠）
流量出力信号
0～5VDC（外部負荷抵抗250kΩ以上）
所要電源
＋15VDC(±5％)100mA　－15VDC(±5％)250mA
重量
約1000g

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商品画像 商品番号 商品名 標準価格
（税抜）		 在庫 数量
※代表画像です。
3-371-0805 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ｎ２ 　５００ＳＣＣＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

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3-371-0790 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ａｉｒ 　１０ＳＣＣＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

在庫 取寄品

数量
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3-371-0791 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ａｉｒ 　５０ＳＣＣＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

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3-371-0792 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ａｉｒ 　１００ＳＣＣＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

在庫 取寄品

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3-371-0793 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ａｉｒ 　５００ＳＣＣＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

在庫 取寄品

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3-371-0794 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ａｉｒ 　１ＳＬＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

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3-371-0795 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ａｉｒ 　５ＳＬＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

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3-371-0796 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ａｉｒ 　１０ＳＬＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

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3-371-0797 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ａｉｒ 　２０ＳＬＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

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数量
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3-371-0798 マスフローコントローラ　３６６５－３／８ＳＷ－Ａｉｒ 　３０ＳＬＭ－２０℃

標準価格 ¥156,500

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3-371-0799 マスフローコントローラ　３６６５－３／８ＳＷ－Ａｉｒ 　４０ＳＬＭ－２０℃

標準価格 ¥156,500

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3-371-0800 マスフローコントローラ　３６６５－３／８ＳＷ－Ａｉｒ 　５０ＳＬＭ－２０℃

標準価格 ¥156,500

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3-371-0801 マスフローコントローラ　３６６５－３／８ＳＷ－Ａｉｒ 　１００ＳＬＭ－２０℃

標準価格 ¥184,800

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3-371-0802 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ｎ２ 　１０ＳＣＣＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

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3-371-0803 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ｎ２ 　５０ＳＣＣＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

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3-371-0804 マスフローコントローラ　３６６０－１／４ＳＷ－Ｎ２ 　１００ＳＣＣＭ－２０℃

標準価格 ¥109,200

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